PRODUCT INFO
정면기
TGV Alkali Etching Line
제품소개
TGV Alkali Etching Line은 Glass 기판에 형성된 TGV(Through Glass Via)를 고정밀·고균일로 가공하기 위한 전용 알카리 습식 에칭 설비입니다.
스프레이 에칭 모듈과 약품 농도 및 온도 자동 제어 등의 시스템을 통해 품질의 균일성을 확보하여, 반도체 패키지용 Glass 기판 공정에 최적화된 솔루션입니다.
스프레이 에칭 모듈과 약품 농도 및 온도 자동 제어 등의 시스템을 통해 품질의 균일성을 확보하여, 반도체 패키지용 Glass 기판 공정에 최적화된 솔루션입니다.
제품특징
1. 수직/수평 2축 직동식 구조
- 저진동 설계
2. 서보모터를 적용하여, 위치와 속도 제어 용이
3. 내부 보강 빔 구조
- 외팔보 처짐 및 진동 저감
- 저진동 설계
2. 서보모터를 적용하여, 위치와 속도 제어 용이
3. 내부 보강 빔 구조
- 외팔보 처짐 및 진동 저감
제원
| TGV Etching Line SPEC. | |||
|---|---|---|---|
| Glass Size | P350mm(W) × 350mm(L) ~ 610mm(W) × 610mm(L) | Glass Thickness | Core Glass : 0.3mm ~ 3,0mm Core Glass + Jig Type : 0.2mm ~ 2.0mm |
